高纯钛（Ti）靶材

高纯钛（Ti）靶材产品概述：

钛靶材由于高纯钛的成本相当昂贵，应用领域极其有限，主要用作半导体材料和超高真空装置中的吸气材料。高纯钛具有吸气性，特别是吸氢、CH4、Co2气体，因此它能在高真空和超高真空系统中获得广泛应用。用高纯钛溅射制作LSI、VLSI、ULSI的线路网时，可使这些集成件变得格外轻、薄、尺寸小而且线路密集。高纯钛靶材也可以用作阻挡层金属材料。

①　元素符号：Ti

②　晶体结构：六方密堆积

③　磁序：顺磁性

④　密度：4.506 g·cm?3 

⑤　膨胀系数：（25 °C）8.6 μm·m?1·K?1

⑥　物态：固体

⑦　热导率：21.9W·m?1·K?1

⑧　熔点：166 °C

⑨　沸点：3287 °C

⑩　熔化热：14.15 kJ·mol?

⑪　汽化热：425 kJ·mol?1

⑫　比热容：25.060 J·mol?1·K?1

壹浩光电提供各种纯度，规格的高纯金属溅射靶材，合金溅射靶材，非金属溅射靶材，陶瓷溅射靶材的同时还提供高纯金属颗粒，高熵合金，粉末，丝材，棒丝，片材等多种形态材料。

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