平面靶 旋转靶 异型定制
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发布时间:2022-09-24 11:21:05
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高纯钌(Ru)靶材产品概述:
钌溅射靶材可用于在基板上生产纯钌薄膜,钌靶材具有耐化学腐蚀、耐摔性、超耐磨、耐高温、防静电、防火性。钌是一种硬而脆呈浅灰色的多价稀有金属元素,是最稀有的金属之一,性质很稳定,耐腐蚀性很强,常温即能耐盐酸、硫酸、硝酸以及王水的腐蚀。
① 元素符号:Ru
② 晶体结构:六方密排晶格
③ 磁序:顺磁性
④ 密度:12.45 g·cm-3
⑤ 膨胀系数:(25 °C)6.4 μm·m-1·K-1
⑥ 物态:固体
⑦ 热导率:117W·m-1·K-1
⑧ 熔点:2334 °C
⑨ 沸点:4150 °C
⑩ 熔化热:38.59 kJ·mol-1
⑪ 比热容:24.06 J·mol-1·K-1
壹浩光电提供各种纯度,规格的高纯金属溅射靶材,合金溅射靶材,非金属溅射靶材,陶瓷溅射靶材的同时还提供高纯金属颗粒,高熵合金,粉末,丝材,棒丝,片材等多种形态材料。
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